半導体製造プロセス用の流体システムコンポーネント

半導体製造で使用されるさまざまな化学物質とガスは、生産のあらゆる段階で途切れない供給のために堅牢な流体システムを必要とします。これらの流体システムは、清潔で漏れのない制御プロセスを確保しながら、半導体製造に必要な極端なプロセス条件をサポートできる必要があります。したがって、精密半導体製造プロセスでは、流体システムコンポーネントの選択が重要です。

高品質の流体システムコンポーネントの選択は、製造効率の向上とシステムダウンタイムの短縮と同義です。半導体製造プロセスに関して、流体システム成分の重要な役割とその信頼性の重要性について説明します。

半導体製造における流体システム成分の重要性

半導体製造における流体システムコンポーネントには、制御された環境で化学液を安全に輸送するためのさまざまな化学的混合、運搬、および制御システムが含まれます。理想的な流体システムには次のようなものがあります。

➢均一な化学混合

➢強染色制御

➢テンペラチュと圧力制御

➢中断された化学物質供給

最高品質のコンポーネントのみが、半導体液システムでこのような理想的な条件を提供できます。そのようなコンポーネントを使用することの利点は次のとおりです。

正確：バルブ、レギュレーター、ポンプなどのコンポーネントは、化学物質の正しい割合が生産セルに送達されるようにして、タンデムで動作します。正確な入力は、フローの変動のリスクを排除し、最終製品の品質を向上させます。

互換性と清潔さ：プロセス流体と互換性のある材料組成を備えた流体システムコンポーネントは、汚染のリスクを減らします。さらに、これらの流体システムコンポーネントの漏れのない設置により、粒子状汚染物質が減少し、収量が改善されるための清潔で制御された製造環境を提供します。

安全性：半導体製造に使用されるガスと化学物質は、人間の健康に有害です。ただし、漏れや流出を防ぐために設計された流体システムコンポーネントは、これらの液体を安全で制御された方法で生産ユニットに届けることができます。

効率：漏れのない構造と高品質の流体システムコンポーネントの正確な制御は、運用上のダウンタイムと頻繁なメンテナンス要件を最小限に抑え、生産目標を達成するためにスムーズで効率的な製造を促進します。

品質製造された流体システムコンポーネントソリューション

流体システムコンポーネントは、半導体製造の課題を満たすために高品質の設置を必要とします。 Fabに影響を与える主要なコンポーネントは次のとおりです。

バルブ：ダイヤフラム、ベローズ、針バルブなどの高性能バルブは、製造施設の液体の流れを理想的に調節します。耐久性のある高品質のバルブは、重要な半導体製造の生産と取り扱いプロセスの効率を改善するために必要な精度と制御を提供します。

継手：チューブおよびホースシステムおよびその他の重要なコンポーネント用の高純度フィッティングは、流体システムコンポーネントの安全性と純度を高めるための密閉された接続を提供します。

ホース：精密な製造要件のために、断熱ホースは熱管理に役立ち、生産ルーム内のプロセス条件を最適に維持できるようにします。これは重要です。これは、わずかな温度の変動がチップを損傷し、生産廃棄物につながる可能性があるため重要です。

柔軟なチューブ：条件が許可されている場合、柔軟なチューブを使用して、流体システムアセンブリのフィッティング数を減らすことができます。チューブは、目的の流体経路を取得するために曲がっています。継手が少ないということは、振動と動きによる漏れや損傷のリスクが少ないことを意味します。

規制当局：レギュレーターは、半導体製造プロセスの各段階での圧力を効果的に制御します。一定で正確な流れは、無駄な液体化学物質と特殊材料を避けながら、一貫した高品質の収量を達成します。

フィルター：単一の粒子は、半導体性能に影響を与える可能性があります。超高純度フィルターを使用すると、粒子の汚染がなくなり、チップの損傷を最小限に抑えます。

半導体製造における流体システム効率は、AFK-LOKの幅広い高品質バルブ、フィッティング、レギュレーター、ホース、フィルターで実現できます。