半導体プラントガスパイプラインのフックアップ導入

フックアップにより、マシンは送信ユーティリティに接続することで目的の機能を実現できます。フックアップとは、工場から提供されたユーティリティ (水、電気、ガス、化学薬品など) を、パイプライン ケーブルを介して予約済みのユーティリティ接続ポイント (ポートまたはスティック) を介して機械およびその付属品に接続することです。

これらのユーティリティは、支払われるプロセス要件を満たすためにマシンによって使用されます。機械が使用された後、機械によって生成されたリサイクル可能な水または廃棄物（廃水、廃ガスなど）は、パイプラインを介してシステムの予約接点に接続され、プラント回収システムまたは廃棄物に送られます。ガス処理システム。接続プロジェクトの主な内容: CAD、入居、コアドリル、耐震、真空、ガス、化学 DI、PCW、CW、速達、電気、排水

GAS HOOK-UP 専門知識の基礎知識

半導体工場では、バックガス（CDA、GN2、pN2、PO2、Phe、par、H2などの一般的なガス）と、その取り出しポイントで、ガスパイプラインのいわゆるフックアップを「sp1フックアップ」と呼びます。ガス供給源のガス貯蔵タンクの出口点から主配管を通って副主配管までを「sp1フックアップ」と呼び、取り出し出口点から機械（工具）や装置の入口点までを「sp1フックアップ」と呼び、二次側と呼びます。構成 (sp2hook アップ)。

特殊ガス（腐食性ガス、毒性ガス、可燃性ガス、加熱ガスなどの特殊ガス）の場合、そのガス供給源はガスキャビネットです。g/cアウトレットポイントからVMB(バルブメインボックス)またはVMP(バルブメインパネル)の一次インレットポイントまでをsp1フックアップと呼び、VMBまたはVMPスティックの二次アウトレットポイントからマシンインレットポイントまでをsp1フックアップと呼びます。 sp2 フック。