半導体業界の活況を呈しているため、サポートプロジェクトには高い要件が提案されています。特別なガスの供給は効果的なシステムを形成しておらず、乱雑なシリンダー、混oticとした管理、互換性のないガスの混合の問題はより深刻であり、ガス消費の安全性に大きく影響します。では、特別なガスパイプラインプロジェクトでガステールガスを処理する方法は?今日、深Shenzhen Wofei Technology Co:
特別なガステールガス処理
健康と環境に関する特別なガスは、特別なガステールガスを処理する方法、どのような機器を扱うか、ここで詳細な紹介となります。
特殊ガステールガスの状況
尾ガスは必然的に特別なガスシステムの導関数として存在します。過去に、多くの大学では、実験室のガス消費量が大きくないため、建設ユニットの所有者はテールガス排出問題を完全に認識しておらず、より多くの半導体工場が生まれ、特別なガステールガス排出量の生産がますます注目されています。次に、退院方法、退院方法は、多くのユーザーの前で問題になりました。
特別なガスシステムの尾ガス排出治療装置の治療方法:
テールガス処理装置の種類は、処理する排気中の特別なガスの特性に従って選択する必要があり、互換性のない特別ガスは、テールガス処理装置を個別にセットアップする必要があります。
尾ガス処理装置は、GR、GC、およびその他の特別なガス装置の近くに配置する必要があります。
特別ガスの尾ガス治療法は、乾燥治療吸着、湿ったスクラビング、加熱分解治療、燃焼処理、血漿分解治療、希釈処理、および上記の方法の組み合わせを採用するものとします。
投稿時間:5月14-2024