電子専門ガス準備プロセスのシステム要件

EGPの化学的活動と品質要件により、EGP調製のための生産システム、特に下流の精製システムは、高純度材料、高シーリング、高清浄度、高品質の一貫性の要件を満たす必要があり、エンジニアリングコンポーネントの構築は、半導体製造業の基準を満たす必要があります。

私たちが一般的に「高純度」と呼ぶのは、理論的には、高純度ガス、高純度化学物質などの物質の純度の定義です。プロセスシステム、または高純度物質に適用されるプロセスシステムコンポーネントは、高純度システムや高純度バルブなどの高純度とも呼ばれます。電子専門ガスの準備システムには、高純度の継手、バルブ、およびその他の流体成分、すなわち、高純度材料と清潔な製造プロセスで処理され、簡単なパージとクリーニングのために構造化された、つまり、継手、バルブが必要です。シーリングパフォーマンスが高い。これらの流体コンポーネントは、半導体産業のエンジニアリングおよび建設要件を使用して、アプリケーションのプロセスフローパスを満た​​すように設計されています。

高純度配管接続

VCRメタルガスケットフェイスシール接続と自動ガイドのバット溶接接続は、接続でのフローパスのスムーズな移行、停滞ゾーンなし、および高シーリングパフォーマンスの両方を満たす能力により、強力なシステム純度プロセス要件に広く使用されています。変形したガスケットが削除されて交換されるたびに、再現性のある一貫した接続とシーリングの性能が保証されます。

チューブは、自動軌道溶接システムを使用して溶接されています。チューブは、内外の高純度ガスによって保護されています。タングステン電極は軌道に沿って回転し、高品質の溶接をします。完全に自動化された軌道溶接は、他の材料を導入することなくパイプを溶かし、薄壁パイプを繰り返し制御することで高品質の溶接を実現することは、手動溶接で達成することは困難です。

VCRメタルガスケットフェイスシール接続

パイプの自動軌道バット溶接接続

高純度バルブ

可燃性、爆発性、腐食性、および有毒な電子専門ガスの化学活性は、バルブの密閉に高い需要を置きます。シーリングの信頼性を向上させるために、外部漏れを防ぐための梱包のないバルブ、つまり、金属ベローズまたは金属製ダイヤフラムを使用してシールの間のバルブステムとバルブ本体のスイッチング操作、摩耗および梱包シールの変形による漏れを排除するために。ベローズシールおよびダイアフラム密集されたバルブは、シールの信頼性が高く、バルブ内部の清掃とパージの交換が容易であるため、高純度アプリケーションのプロセスシステムで一般的に使用されています。

ベローズシールバルブは、ゆっくりと開口部と流れの調節を可能にする梱包のない針バルブ構造です。安全フロー要件を備えた電子専門ガス充填に使用されるか、安全性が高い前駆体源ボトルで使用されます。全メタルステムチップシールは、非常に低い動作温度を可能にし、配管のための極低温蒸留後の完成品タンクの電子特殊ガスの極低温液化に使用されます。

Springless Diaphragm Sealバルブは、配信配管で自動的に制御されたスイッチングバルブとして使用する1/4インチのスナップオープンバルブです。それらは、単純な内部フローパス、小さな内部体積、およびパージと交換の容易さにより、超高圧、高純度のアプリケーションで一般的に使用されています。

茎の先端を介して閉じるダイアフラム密に囲まれたバルブは、ゆっくりと開くことができ、非スプルングダイアフラムシールバルブよりも高い動作圧力で使用できます。それらは、高圧電子専門ガス充填または前駆体源ボトルで広く使用されています。

セカンダリシールベローズバルブは、-200度の超低温度プロセスシステムで使用できるだけでなく、大気への危険な培地の漏れを防ぎます。通常、シラン充填システムなど、非常に危険な電子特別ガスに使用されます。

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