特殊ガスキャビネット

序章

特別なガス搬送キャビネットは、可燃性、爆発性、腐食性、毒性、およびその他の危険なガスの供給用に設計されています。

システムは、全自動、半自動、手動操作のカテゴリに分類できます。基本機能には、自動パージ、自動切り替え、および緊急時 (設定されたアラーム信号がトリガーされたとき) の自動安全遮断が含まれます。

自動ガスタンクはPLCによって制御され、タッチスクリーンはマンマシンインターフェースであり、デバイスによって取り付けられた圧力センサーです。

空調装置、空気圧バルブ、流量計などの装置は、機器の安全で効果的な操作を実現します。メーターの内部PLCプログラミング安全インターロック機能と、高純度バルブ部品の合理的な選択とレイアウトは、半導体プロセス生産プロセスの要件を満たしています。

培地中の特殊ガスの継続的な供給と高純度の要件だけでなく、工場の通常の生産と従業員の個人的な生活の安全を確保するための要件。