AFK 6mm / 8mm / 10mm ステンレススチール 316 フェルールフィルター
ステンレスフィルター
製品パラメータ
| 1 | 最高使用圧力20.6MPa。 |
| 2 | 最大。使用温度204℃（454℃までの高温環境、この時シール材を膨張黒鉛に変更） |
| 3 | フィルターシステム 粒子状汚染物質、ガス、液体が該当します。 |
| 4 | ステンレス粉末冶金焼結フィルター フィルター精度 2μm～40μm |
| 5 | ろ過流量 1×10 -6~1×10-2L/min.cm2。パ |
| 6 | フィルター交換可能。 |
フィルターの製品特長
| 1 | 15 ～ 300SL/min の広い適用範囲、流量範囲。 |
| 2 | ほとんどの高純度半導体プロセス ガスとの適合性が良好です。 |
| 3 | 3 ナノ粒子のろ過能力により、高い流量効率と極小の圧力損失が維持されます。 |
| 4 | 5Ra 電解研磨された表面は、内部汚染を防ぐことができます。 |
| 5 | 半導体プロセス基準を満たすために、脱イオン水の後、熱窒素で焼きます。 |
| 6 | 1000レベルのほこりのない無菌ワークショップの製造、洗浄、梱包環境。 |
| 7 | 100% のヘリウム漏れをテストします。 |
| 入口 | 出口 | |
| 1 | 1/8インチチューブフィッティング | 1/8インチチューブフィッティング |
| 2 | 1/4インチチューブフィッティング | 1/4インチチューブフィッティング |
| 3 | 3/8インチのチューブフィッティング | 3/8インチのチューブフィッティング |
| 4 | 1/2インチチューブフィッティング | 1/2インチチューブフィッティング |
| 5 | 6MMチューブフィッティング | 6MMチューブフィッティング |
| 6 | 8MMチューブフィッティング | 8MMチューブフィッティング |
| 7 | 10MMチューブフィッティング | 10MMチューブフィッティング |
| 8 | 12MM チューブフィッティング | 12MM チューブフィッティング |
| 9 | 1/8″ メス NPT | 1/8″ メス NPT |
| 10 | 1/4″ メス NPT | 1/4″ メス NPT |
| 11 | 1/4″ オス NPT | 1/4″ オス NPT |
| 12 | 3/8″ オス NPT | 3/8″ オス NPT |
| 13 | 1/2″ オス NPT | 1/2″ オス NPT |
フィルターの製品性能パラメータ
| 1 | フィルタリング精度 | ≥0.0025μm | |
| 2 | ろ過効率 | 除去率99.99999%≧0.0025μm | |
| 3 | 定格流量 | 15L/分 | |
| 4 | 60L/分 | ||
| 5 | 120L/分 | ||
| 6 | 200L/分 | ||
| 7 | 300L/分 | ||
| 8 | フィルター構成 | フィルターエレメント | 316L/PTFE |
| 9 | ハウジング | ステンレス鋼 316L | |
| 10 | 労働条件 | 最大入口圧力 | 21Mpa（310kgf/cm2） |
| 11 | 最大差圧 | 15Mpa（153kgf/cm2） | |
| 12 | 最高使用温度 | 430℃（不活性ガス） | |
| 13 | ヘリウム漏れ率 | 1×10-9気圧・cc/秒 | |
| 14 | 表面仕上げ | ≤Ra 5μインチ | |
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