電子特殊ガスシステム

電子特殊ガスシステムは、デバイス、パイプライン、および特殊ガスのコンポーネント、輸送および流通プロセスの一般的な名前を指します。特殊ガスシステムエンジニアリングは、特殊ガスシステムを安全に使用するためのエンジニアリングです。特殊ガスシステムの構成：特殊ガスシステムは、貯蔵、配送、分配、制御の4種類の装置から構成されています。「貯蔵」とはガス源部分、「輸送」とは配管部分、「分配」とは二次分配部分（ガス分配キャビネットVMB）、「制御」とは監視制御セクション（ガス管理システムGMS）を指します。 .